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離子注入

離子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂,从而改变其特性的工艺制程,在集成电路(IC)工业中得到广泛的应用。作为離子注入制程的装备—離子注入机,是先进IC生产线上最关键的工具之一,每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。


与热扩散的掺杂技术相比,離子注入技术具有以下特点:单面准直掺杂、良好的掺杂均匀性和可控性、掺杂元素的单一性,而且很容易实现掺杂区域的图形化。


这些特点给晶硅太阳能电池片的制造带来了热扩散所不具备的优势—不仅可形成高质量的PN结、提高电池的转换效率,而且可大大简化多种高效电池的制造工序:常规电池的生产可以省掉去磷硅玻璃和边缘刻蚀工艺;双面电池的生产则可免去掩膜工序;此外, 背接触电池所必需的分区掺杂可免去对准工序,这样便大幅度降低了此类电池的制造成本。離子注入是提高电池效率、制造高效电池经济、可靠的技术。


另外,由于省去了例如磷/硼扩散、去磷/硼硅玻璃以及边缘刻蚀等有毒排放工艺,所以離子注入又能显著降低电池片生产所造成的环境污染。


但是,IC離子注入机较低的生产率、昂贵的造价和庞大的占地面积,使得離子注入技术还没有在光伏产业上得以普及应用。上海欧洲杯投注半导体有限公司根据太阳能电池工艺的实际情况和需求,为光伏产业量身订制了大束流離子注入机—IonSolar。在硅片的传输和离子束流系统上,IonSolar应用了多项拥有自主知识产权的突破性重大技术:单一注入元素的“帘状”宽幅离子束可无间断地“淋浴”到匀速传输的单晶硅片上,实现稳定、均匀的元素掺杂,并保证了高效的生产率和较低的制造成本,为太阳能电池的产线升级和高效电池的生产提供了一条有效途径。


IonSolar 特点:

? 生产率高

IonSolar擁有連續送片功能,單機産能可達1800片/小時,使得一條生産線只配備一台機器成爲可能,完全實現與現有産線産能的良好匹配。


? 占地面积小

IonSolar占地22m2,在不更改現有生産線布局的前提下實現技術升級。


? 制程成本低

IonSolar制程成本僅爲同類産品的60%,投入低,投資回收周期短。


? 本土制造和服务

歐美質量標准,本土化服務,快速高效。


上海欧洲杯投注半导体有限公司由数位具有成功开发多代IC離子注入机经验的海外知名专家团队创立。我们建立了“一丝不苟,精益求精”的企业文化;我们实现了高质量和性能的離子注入机的国产化;我们迈出了中国制造走上中国创造之路的重要一步!


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